Purion H200は、当社の技術の粋を集めた枚葉式ウェハ高电流中エネルギーイオン注入装置であり、市場で唯一の本格的な高电流中エネルギー注入装置です。本装置は、業界で最もエネルギー範囲が広く、10 keV～230 keVに対応しています。Purion H200は、Purion Hの先進的なビームライン技術とPurion Mの高エネルギー機能を用いて、高电流出力と中电流精度を実現しています。

纯度

当社独自の角度式エネルギーフィルターは、金属滤过用の础虫肠别濒颈蝉のハイブリッドフィルターアーキテクチャに基づいて设计され、エネルギーコンタミネーションをフィルターし、强力な排気能力によりフォトレジストのアウトガスの影响を抑えます。

精度

Purion H200には正確な角度でビームを照射するVectorドーズ量?角度制御システムと、高角度においてもサブストレートの上下位置を問わず同一のドーズ量を確保する当社独自の定点距離スキャン機能が装備されています。

生产性

高电流ビームライン、中电流加速管、ターミナル構造を組み合わせることで、中エネルギーイオン注入の分野で比類ない生产性を実現します。